靜電在工業生產中造成的危害的兩種機理
靜電在工業生產中造成的危害主要可歸結為以下兩種機理:
其一:靜電放電(ESD)造成的危害:
(1)引起電子設備的故障或誤動作,造成電磁干擾。
(2)擊穿集成電路和精密的電子元件,或者促使元件老化,降低生產成品率。
(3)高壓靜電放電造成電擊,危及人身安全。
(4)在多易燃易爆品或粉塵、油霧的生產場所極易引起爆炸和火災。
其二,靜電吸引力(ESA)造成的危害:
(1)電子工業:吸附灰塵,造成集成電路和半導體元件的污染,大大降低成品率。
(2)膠片和塑料工業:使膠片或薄膜收卷不齊;膠片、CD塑盤沾染灰塵,影響品質。
(3)造紙印刷工業:紙張收卷不齊,套印不準,吸污嚴重,甚至紙張黏結,影響生產。
(4)紡織工業:造成根絲飄動、纏花斷頭、紗線糾結等危害。
(5)塑膠噴涂:塑膠產品靜電高,易吸附灰塵,噴涂后影響工件的美觀和品質。
靜電放電引起的元器件擊穿損害是電子工業普遍、嚴重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿。硬擊穿是一次性造成元器件介質擊穿、燒毀失效;軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數指標下降 ;磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業中的兩大危害源,但產生靜電并非危害所在,危害在于靜電積累及由此產生的靜電放電,因此必須予以控制。